如何評價MBE(分子束外延)生長材料的效能?

時間 2021-06-03 02:18:01

1樓:蓮子醬-閃耀的星之光

咱作為專業做分子束外延(MBE)的博士生,來回答一下()分子束外延(MBE)是通過加熱固體材料源讓其昇華,沉積在靶材上形成晶體薄膜的技術。分子束外延是乙個物理沉積過程,中間不需要考慮化學反應的問題。一般在1e-8 Pa的超高真空下進行,在外延生長的過程中能夠防止汙染,而且在生長之前一般會通過退火的方法清潔襯底,使表面原子重排而變得均勻。

因此相比材料生長其他方法,比如需要通入大量反應物進行反應的化學氣相沉積(CVD)、會產生大量靶材碎片的脈衝雷射沉積(PLD),分子束外延能生長質量更高的單晶薄膜。L(▽`L )

生長的時候,會採用反射高能電子衍射(RHEED)作為表徵材料的手段。如果產生了清晰的條紋狀圖樣,說明生長了質量很高的單晶薄膜()如下圖所示。

分子束外延在製備異質結的過程中,能夠獲得更平整的表面,因此在製備電子器件、凝聚態物理等方面都很有競爭力!像清華大學物理系的薛其坤,正是分子束外延的高手,通過分子束外延首次實現了量子反常霍爾效應~()

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