三維電晶體是否可以在底部建立乙個柵極

時間 2021-06-01 15:06:01

1樓:gyroscope

3D快閃儲存器就是這樣的。只不過是豎起來的。

中間那根柱子是溝道,外面套絕緣層,然後是柵極。快閃儲存器單元就沿著柱子分布。

我想問現在有沒有商用的3D固態硬碟,3DU盤?

2樓:

您說的叫作Gate-All-Around,一般寫作GAA。提出了20多年了,據說英特爾的10nm工藝用的就是GAA的nanowire。題主你能想到這個,算很厲害了。

通過spacer就可以實現GAA結構,就是四面都是gate的結構。

就我的了解而言,第乙個提出GAA這個概念的,是著名的J.P Colinge教授。Colinge教授在三維元件的領域影響力非凡,貢獻巨大。

在他的IEDM'90,P.595中有較為詳細的說明。我在此處引用一些他的結論。

下圖是他製程中非常重要的一步。首先他在SOI上定義出了active region,再通過HF將silicon底下的氧化層泡掉,於是形成了乙個四面沒有接觸的silicon island區域。

在以上結構沉積上gate,就形成了完整的GAA結構,如下所示:

現在量產的memory產品,有的已經運用到了GAA的結構。只不過是它是豎直的立在wafer上而不是就像上圖那樣水平的。下圖皆來自於Toshiba IEDM 07 p.449。

上圖是memory中乙個nanowire的結構圖。中間的部分就是其body,外面一圈綠色的就是gate。是不是和題主所謂的「完美電晶體」的定義相符合呢?

如果要把它連成片,它就長這個樣子:

現在三星在西安的工廠就有生產類似的結構,好像做到了38層。是不是很厲害?SSD中似乎就是用這樣的結構吧。

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