如果用duv光刻機來加工照版成14nm,在刻蝕的時候多腐蝕一些有可能實現7nm晶元嗎?

時間 2021-05-07 03:23:20

1樓:蘇若祁

不能,cd bias 不穩定,很難管控,無法匯入量產,fab追求的是所有process盡可能穩定,實驗室和fab的對工藝的看重點不一樣,fab追求的是量產,沒有量產可行性的工藝會直接pass,除過dummy en這種lot

2樓:hope

想多了,你光刻只光刻一次嗎?

還有,你用什麼蝕刻,化學?良品率低到你哭,區域性反應速率不一致。

離子束乾法?刻完乙個晶元的時間,估計你連7nm光刻機都造完了。

你只做乙個電晶體,不計成本和良品率是可以,但是做晶元就別想了。

單做乙個電晶體,離子束蝕刻機就可以代替光刻,離子束蝕刻機可以輕鬆聚焦到1nm。

3樓:

先科普乙個半導體產業的原則:所有半導體晶元的製程必定是晶元設計師應用設計工具 EDA 所指定的規範,並經各種各樣的程式把關直到全過程通過,才能試線或上線。

因此,光刻製程本身就是一種多重配套製造流程,包括多重黃光和光膠,脫離以及再生過程等等,所以需要從晶元設計軟體EDA 中連貫成指定流程,包括光刻裝置對接對應的批核。

結論是:甭想太多!這不是兒戲

晶元設計師實操上不太可能以14奈米或以上的光刻裝置全面產出7奈米線寬,即使所有光罩配套齊全,(非行業內人士很難理解光罩的作用)以 DUV 代用實驗製程也不能在晶元的電路位置做出7奈米的線路,更絕對不可能量產7奈米。

再補充一句:光刻製程和裝置的欠缺多是以訛傳訛,甭再多提了吧!

4樓:簡成

你的思路在業界是有的,就是shrink技術。不過你的這個14nm到7nm跨度太大,shrink也只是14nm到12nm這個級別才行得通。

目前掌握成熟的14nm和7nm工藝的是台積電和三星。Intel做了很多年14nm也沒轉到7nm(暫不考慮各家定義的製程節點),可以推斷在做Fin的時候,簡單的將Fin的厚度進行減薄來增加電晶體數量是不可行的,太薄的Fin猶如豎立的紙張,極容易倒塌、傾斜、搭橋,後別說後續的deposition process

當然了,正常人都應該知道你說的方法是不行的,至於具體是怎麼不行的,這也是商業機密。

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