光刻機是幹什麼用的

時間 2021-05-06 10:19:00

1樓:

光刻機是晶元製造的核心裝置之一,按照用途可以分為好幾種:有用於生產晶元的光刻機;有用於封裝的光刻機;還有用於LED製造領域的投影光刻機。

用於生產晶元的光刻機是中國在半導體裝置製造上最大的短板,國內晶圓廠所需的高階光刻機完全依賴進口。

高階的投影式光刻機可分為步進投影和掃瞄投影光刻機兩種,解析度通常七奈米至幾微公尺之間,高階光刻機號稱世界上最精密的儀器,世界上已有1.2億美金一台的光刻機。高階光刻機堪稱現代光學工業之花,其製造難度之大,全世界只有少數幾家公司能夠製造。

國外品牌主要以荷蘭ASML(鏡頭來自德國),日本Nikon(intel曾經購買過Nikon的高階光刻機)和日本Canon三大品牌為主。

位於中國上海的SMEE已研製出具有自主智財權的投影式中端光刻機,形成產品系列初步實現海內外銷售。正在進行其他各系列產品的研發製作工作。

生產線和研發用的低端光刻機為接近、接觸式光刻機,解析度通常在數微公尺以上。主要有德國SUSS、美國MYCRO NXQ4006、以及中國品牌。

2樓:

也不用嘲笑題主,他肯定是一位充滿好奇心的行外人。首先,我們一張wafer是圓形的,不同尺寸有6寸8寸等等。每一張wafer可以切割成好幾百個小晶元,給你手機用的。

然後每個FAB廠有幾台光刻機我就不知道了,能告訴你的是某些大廠號稱月產30萬片wafer,你自己算算吧

3樓:天天像過年

光刻機如字面意思,就是把我們想要的晶元,再通過設計師設計出規格之後用光學技術刻在晶圓上,其實和洗相片的意思有點接近,用光學技術把各種各樣形式的電路刻在晶圓從而使之後的工藝順著刻出來的樣子繼續加工。

一片晶元以12寸為例大概可以生產成品幾百到幾千不等的小晶元,而不是要將手機那麼小的晶元一片一片刻出來的,如果真這樣那效率太慢了

光刻機是晶元產業中最昂貴且技術難度最高的機台,好幾億一台都是隨便的。因為它是整塊晶元的主題和框架。是魂

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