為什麼 7 奈米節點以後要不斷提高電晶體溝道材料的電子遷移率?

時間 2021-05-11 19:23:53

1樓:

這個問題的題幹是錯誤的

先說結論:7nm之後溝道材料電子遷移率不是很重要根本不是業界的努力方向

7nm 節點對應溝道長度大概在 20nm左右,想象一下溝道長度降低到10nm。

這時候溝道長度很可能降低到electron scattering的平均自由程以下。而mobility是相對大尺寸材料算出來的,考慮到scattering。所以在極短溝道FET的時候,mobility根本不能成為考察電子輸運的有效指標。

應以不同材料的電子有效質量計算saturation velocity,這也是碳管之前被認為有希望的最大原因,極小的有效質量以及ballistic transport

short channel device的contact resistance(接觸電阻)早已大於溝道電阻,成為制約跨導gm的最關鍵因素。

一圖以蔽之,電子的遷移率根本不是高效能電晶體所考察的決定性因素。

業界著眼點在於:

如何控制short channel effect,從而減小off-current,減小發熱,減小power cumption。

Anything beyond 100w/cm2 is detrimental to a chip.

2樓:又見山人

高遷移率意味著可以用更小面積的電晶體提供更大的電流,縮小了面積就是節約成本,這比提高頻率還重要。不斷提高遷移率是每一代半導體工藝的核心任務之一。

其實現在的工藝裡,溝道那麼短,非理想因素那麼多,遷移率不下降就很不錯了……

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