1樓：Zanhui.F
MJ Madou, 「Fundamentals of Microfabrication」, CRC Press ( good text to buy)
2. GTA Kovacs, 「Micromachined Transducers sourcebook,」 McGraw Hill, 1988.
3. S D Senturia, 「Microsystems Design」, KAP, 2001.
4. L. Ristic, 「Sensor Tchnonology and Devices」, AH, 1994.
5. P. Rai-Choudhury, 「Microlithography, Micromachining, and Microfabrication」, Vo..
2, SPIE Press, 1997.
6. M Elwenspoek and HV Jansen, 「Silicon Micromachining,」 CUP 1998.
7. SA Campbell, 「The Science and Engineering of Microelectronics Fabrication」
8. S. SZE, 「VLSI Technology」, McGrawHill
9. Gere & Timoshenko, 「Mechanics of Materials」
10. Roark, 「Roark』s Formula for Stress and Strain,」 McGrawHill, 6th Ed, 1989.
11. M Lambrechts &W Sansen, 「Biosensor- Micorelectromechanical devices」, IOP, 1992.
12. JW Gardner, 「Microsensors」, Wiley, 1994.
13. IEEE Journal of Micro-Electro-Mechanical Systems
14. Sensors and Actuators A: Physical
15. Journal of Micromechanics and Microengineering
16. Proceedings from Transducers conferences
17. Proceedings from IEEE MEMS conferences
18. Proceedings from EUROSENSOR conferences
19. Procedia Engineering
2樓：William You
怒答一發：復旦大學的鮑敏杭教授的Analysis and design principle of MEMS devices。
其實你看看小木蟲裡的乙個推薦貼就好了，裡面很全。
3樓：三體er-捲土重來
MEMS只是手段，關鍵看你想用來實現什麼。工藝方面基本的套路和IC一樣，但線寬要求低很多，一般微公尺量級就夠了。MEMS的一些特殊工藝比如深矽刻蝕和鍵合書上看到的都差不多，關鍵看工程實踐。
正真看書有用的還是基礎的物理、化學，其他的最好帶著專案、帶著問題，目標清晰的找書看。MEMS只是手段，沒有工程實踐，泛泛的看啥也沒用。
為什麼有些外文書籍的翻譯很差？
有一本書。英文叫 Critique of Pure Reason.德文叫 Kritik der reinen Vernunft.中文叫純粹理性批判 真他嗎的忍了很久了，不得不說說。純粹是形容理性還是批判？批判是動詞還是名詞？理性是名詞還是副詞？為什麼英文德文裡那麼清晰的表達，能被翻譯得如此似是而非，...
為什麼很多網友特別喜歡抱怨外文書籍的翻譯問題？是這些人外文水平高，還是有點作秀的成分？
文學類書籍不評價，覺得差可能是我修養不足，不能體會譯文的精妙之處。但我這個專業的專業書籍的翻譯真是非常差，有時會有整整一行才乙個標點符號的，句子完全讀不通，完全不知道在說些什麼。找來英文一看寫得非常清楚。所以不如直接看英文，不懂的單詞查查，還能積累專業詞彙。 其實多數人真的是外語水平高那麼一點點。另...
有什麼好的方向？
蒸蒸日上 當人生中出現迷茫，生活感覺沒有動力，想做事情，但是找不到方向。這種現象發生在人群中，不只一人，年輕人當中尤為甚多。為什麼會出現這種現象呢？為什麼身邊以前的同學考上了名牌大學，有了好的事業。自己確還在迷茫中徘徊？不忘初心，牢記使命。這是當下我們接觸的很順口，也很貼近生活的一句話。分析下這句話...