差動電容感測器的構造與普通電容器的構造有何區別 它有哪些優點

時間 2021-07-13 08:17:16

1樓:Steven Yang

電容式電感器的電容量 與真空介電常數 、極板間介質的相對介電常數 、極板有效面積 以及極板間的距離 有關,即

極板間介質的相對介電常數 、極板有效面積 以及極板間的距離 三個引數中任意乙個發生變化時,會引起電容量的變化,可以通過測量電路轉化為電量輸出獲得變化情況。因此電容式感測器可以分為變極距型、變面積型和變介質型。

題主問到的差動式電容感測器就屬於變極距型電容式感測器的一種,題主所提到的普通電容器應該指的是單極式變極距型電容式感測器。

圖1 變極距型電容式感測器原理圖

如上圖所示,當相對介電常數 、極板有效面積 為常數,初始極距為 ,則初始電容量 為

當動極板因被測量變化而向上移動減少距離為 時,電容量增大量為 ,則有

,電容相對變化量為

如果滿足 ,則可經級數展開成

簡化高次項後可以得到近似的線性關係和靈敏度 為

如果考慮線性項及二次項,則

則相對非線性誤差為

圖2 變極距型差動式電容式感測器原理圖

如上圖所示,調整為差動式結構後,動極板位於兩個定極板中間。初始位置時 ,即兩邊初始電容相等。當中間的動極板向上有位移時,兩邊極距為 , ,則電容總的相對變化量為

靈敏度 為

相對非線性誤差為

由上式對比可以得知,差動式結構比普通單極式電容感測器靈敏度提高一倍,非線性誤差極大減小。由於結構上的對稱性,差動式結構還可以有效補償溫度變化所造成的測量誤差。

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