請專業人士介紹一下晶圓製造中的雙大馬士革工藝?

時間 2021-07-09 12:41:47

1樓:庫知文

1. 對於當前 10~90 奈米 Cu/Low-K 雙大馬士革工藝,普遍的 Low-K 材料有哪些?如何製作?

答:不好意思,我這造詣也不深,有點沒明白問題的意思!

2. IMD 和 ILD 分別代表什麼意思?

答:IMD 全稱 Inter-Metal Dielectric(金屬間阻絕物),ILD 全稱 Inter-Layer Dielectric(層間阻絕物)。ILD 是指 Poly 與Metal-1(第1層金屬互連)之間所填充的材料;IMD 是指兩層 Metal(金屬互連)之間所填充的阻絕材料。

其實它們都是一樣的,填充阻絕的材料都是 Silicon Oxide(氧化矽),只是由於 Poly 與第1層金屬連線尤為重要,所以單獨起了乙個名字,叫 ILD。

3. High-K 材料和 Low-K 材料分別應用於哪個製程?

答:到了更先進的工藝節點(65nm->40nm->28nm->14nm...),後道工藝 (BEOL) 的 Metal 需要做 Low-K,以降低 RC Delay 延時,減少由於後端寄生問題,對整個晶元工作頻率所產生的影響。

以我有限的了解,High-K 材料,High-K 做 HKMG(High-K Metal Gate),即:高介電常數的金屬柵極,用以在高階工藝節點,替代傳統的 Polysilicon(多晶矽)來作為電晶體的柵極,以此解決漏電問題。

請專業人士分析一下碧梨billie eilish的歌,最好是編曲方面?

蕭塵 我個人非常欣賞梨哥的編曲和碧梨的聲線,他們用了大量地和聲 這很歐美,國內流行幾乎見不到,我也是很失望 見ocean eyes when the party s over six feet under xanny等等,真的很多很多,你要開大一點音量,除了碧梨自己的雙聲部外,不少作品還有梨哥的聲部...

請法律界專業人士幫忙回答一下我國關於海商領域比較擅長的律所?

迪西 本人大連海事畢業的,回答這個也算對口。還是看律師的,畢業業內賢達的胡正良老師所在的上海瀛泰律師事務所,廣州的話有半個海大圈組成的敬海律師事務所,遼寧本土的話斐然,伯寧都是老師們所在的所,海上保險首推汪鵬南老師。外所的話推薦我所,新加坡立杰律師事務所駐上海代表處,我們的slogan 從造船到拆船...

懇請專業人士衡量一下我目前的繪畫水平?

雅思紅寶書 不是專業人士 個人覺得挺好的,描線和色彩的搭配都比第一次有了明顯的進步,果然興趣才是第一生產力啊,還是理工科大學生,我很佩服。對光線的使用還是沒有理解到位,都是一些噴槍,可以去看看k大對光線的講解。 空白 在?可否教我畫畫?我也想兩年進步這麼多啊啊啊啊啊啊啊啊啊啊啊啊快大四的動漫專業的給...